*PI精密Z向位移臺N-765 

N-765 精密Z向位移臺

具有亞納米級編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器

采用PIOne增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接測量，分辨率為0.5納米

行程為6.5毫米

可以直接安裝在N-565線性定位器上

zuixiao位移達(dá)1納米

負(fù)載能力達(dá)25牛

 NEXACT®參考級線性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅(qū)動器的線性定位器可實(shí)現(xiàn)較長行程范圍內(nèi)的納米級高精度定位。其配置直接測量線性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現(xiàn)zuigao精度。緊湊、扁平的設(shè)計使定位器能輕松實(shí)現(xiàn)機(jī)械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動器與壓電電機(jī)的技術(shù)優(yōu)勢結(jié)合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據(jù)其驅(qū)動原理，其還能實(shí)現(xiàn)理論上無限的行程。不同于其他壓電機(jī)動化驅(qū)動器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅(qū)動器不受滑動摩擦作用的影響。其是基于幾個壓電陶瓷促動器的靜摩擦接觸，這幾個促動器沿一個動輪步進(jìn)。前饋時，促動器被從動輪處物理提升，幾乎不會造成任何磨損。在促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保步進(jìn)驅(qū)動器自鎖。因此，步進(jìn)驅(qū)動器靜止?fàn)顟B(tài)下將保持位置，關(guān)機(jī)時可實(shí)現(xiàn)機(jī)械穩(wěn)定（無伺服抖動）。靜止?fàn)顟B(tài)自鎖，無能量消耗，無熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)處理后，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以Jjigao的精度直接在運(yùn)動平臺上進(jìn)行實(shí)際位置測量，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應(yīng)。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導(dǎo)向精度和負(fù)載能力。滾動主體架的受迫導(dǎo)向防止?jié)L柱軸承發(fā)生蠕變。

應(yīng)用領(lǐng)域

樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩(wěn)定性光學(xué)或機(jī)械部件、半導(dǎo)體行業(yè)中的精密機(jī)械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空或無磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

訂購信息：N-765.060 精密Z向位移臺，行程為6.5毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，推/拉力為25牛，尺寸為65 × 110 × 56毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動器

*PI精密Z向位移臺N-765